智能化和自動化是未來機器發(fā)展的一大趨勢。機器要自主感知周邊環(huán)境并與之交互，離不開各種三維傳感器。

激光雷達利用光波進行三維測量，可以實現(xiàn)較高的分辨率，相比其它三維傳感器具有獨特的優(yōu)勢，因此也在無人駕駛汽車、機器人、無人機、消費電子產(chǎn)品等領域得到了廣泛的應用。

激光雷達的技術方案多種多樣，但目前中長距離的激光雷達大部分使用掃描光束的方案，即發(fā)出一束或幾束準直激光，每次測量到物體上一個或幾個點的距離，再依次改變發(fā)出光的方向掃描整個視場。

傳統(tǒng)激光雷達一般使用機械旋轉(zhuǎn)的方式進行光束掃描，這使得大部分激光雷達產(chǎn)品仍有體積大、成本高等不足。小型化和集成化是激光雷達的發(fā)展方向，如果能在芯片上實現(xiàn)固態(tài)激光雷達，將極大地降低激光雷達的功耗和成本，提高可靠性。

光束掃描器件的集成化是其中的一大技術難點。學界和業(yè)界近年來主要提出了兩種集成光束掃描方案，即光學相控陣和焦平面開關陣列。

焦平面開關陣列具有控制簡單，可擴展性強，容易實現(xiàn)二維陣列等優(yōu)勢。受限于干涉式硅光開關的功耗和尺寸，已有文獻報道中最大的焦平面開關陣列像素數(shù)僅為 512，與實用激光雷達的像素數(shù)要求有很大差距。

近日，加州大學伯克利分校 吳明強 教授課題組利用獨特的微機電系統(tǒng)光開關，實現(xiàn)了 16384 像素的大規(guī)模焦平面開關陣列，并展示了該芯片作為光束掃描器件實現(xiàn)的激光雷達。

值得一提的是，英特爾于2021年12月宣布成立集成光子學研究中心，匯集了世界知名的光子學和電路的研究人員，其目標是為下一個十年的計算互連鋪平道路。吳教授是參與該研究中心的 7 名研究人員之一。

該團隊在 1 cm2 的硅光芯片上集成了 128x128 個微機電系統(tǒng)光開關和天線陣列，可將激光雷達光束在 70°x70° 的范圍內(nèi) 16384 個不同方向之間快速掃描切換。

該成果以 A large-scale microelectromechanicalsystems-based silicon photonics LiDAR 為題發(fā)表在 Nature。加州大學伯克利分校的 張曉聲 博士和 權暻睦 博士為論文的共同第一作者。

值得一提的是，張曉聲 博士曾經(jīng)是2016年清華本科生特獎得主（清華大學本科生的最高榮譽）。

焦平面開關陣列及其優(yōu)勢

該團隊設計的焦平面開關陣列原理如圖1所示，他們在硅光芯片上集成了一個二維光柵天線陣列，其中每個天線都通過光開關和光波導與輸入端口連接。打開對應的光開關，可以控制輸入芯片的光傳導到某個指定的光柵天線并從該天線發(fā)出。利用類似照相機的光學原理，將這個硅光芯片放置在一個凸透鏡的焦平面上，從不同位置天線發(fā)出的光經(jīng)過透鏡后會被轉(zhuǎn)換為傳向不同方向的準直光束，從而實現(xiàn)光束掃描。

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圖1 焦平面開關陣列原理示意圖

圖源：張曉聲，加州大學伯克利分校

焦平面開關陣列中的光開關僅需要數(shù)字化的開關控制，不需要復雜的模擬控制信號，并且二維陣列可以通過行列尋址方式減少控制信號數(shù)目，因此具有很好的可擴展性，便于實現(xiàn)大規(guī)模陣列。對于同一個陣列芯片，使用不同焦距和孔徑的透鏡（類似相機更換鏡頭），可以靈活改變光束掃描的范圍、分辨率等參數(shù)以適應不同的應用場景。

微機電系統(tǒng)光開關

該陣列中使用的微機電系統(tǒng)光開關工作原理如圖2所示。每個光柵天線的輸入端口（圖中綠色）由一個微機電系統(tǒng)致動器控制，可以在上下兩個位置間切換。在開關關斷狀態(tài)，光柵天線輸入端口處于上層位置，遠離在硅片上的波導（圖中黃色），不影響波導中光的傳播。當開關處于打開狀態(tài)，光柵天線輸入端口處于下層位置，靠近硅片上的波導，這時在波導中傳播的光就會被耦合到光柵天線中。這種微機電系統(tǒng)光開關具有面積小、損耗低、開關速度快等優(yōu)勢，特別適用于大規(guī)模陣列。