大動作范圍:*大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人。 手臂采用連桿機(jī)構(gòu)實現(xiàn)高鋼性。 采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動實現(xiàn)低放出氣體性能。 手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。
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