適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版,引領業界的高性能!供應EFEM模塊全套設備。300枚/小時的高速搬運。
大動作范圍:EFEM模塊移動距離可達4套應用設備,無需使用底架,極大地提高了搬運效率
高速搬運:300枚/小時
適用:300mm-450mm晶片搬運
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